用途:
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点:
IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。
它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。
汉钟独特型线设计,上海,台湾,制造。
较之前的版本节能25%,配置有省电模式。
带有加热系统避免制程物沉积。
优化的尺寸,即插即用。
咨询热线0574-86119919
用途:
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点:
IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。
它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。
汉钟独特型线设计,上海,台湾,制造。
较之前的版本节能25%,配置有省电模式。
带有加热系统避免制程物沉积。
优化的尺寸,即插即用。